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IC載板壓機的真空系統(tǒng)
發(fā)布時間:
2022-11-03 11:47
現(xiàn)在IC載板的廠家購買層壓機都要求有真空層壓這一功能,真空下的壓合能解決很多工藝上的問題,今天小編給大家介紹一下IC載板壓機的真空系統(tǒng)。
1. 真空室完全密封,不僅要求壓機框架有足夠強度和良好的密封性能,而且要求真空門.維修門等具有良好的密封性能;
2. 抽真空管道及閥門具有良好的密封性能;
3. 真空泵具有良好的性能,有足夠的抽真空能力。目前壓機對真空度要求很高,抽真空能力一般要在5-6min可以抽到30torr,極限真空可以抽到10torr以上。在真空泵的選型上大多數(shù)壓機包括KITAGAWA、OEM、ACCUDYNE等壓機均采用BUSCH公司生產(chǎn)的真空泵,BUSCH泵性能不錯,結(jié)構(gòu)簡單,維修方便,但由于BUSCH泵是葉片泵,需要良好的潤滑性能,而抽真空時空氣中的水份容易積在真空泵油中,造成真空泵中油容易乳化甚至碳化,這就使得葉片和泵體潤滑性能減弱,形成惡性循環(huán),造成葉片容易磨損,油氣分離器破損。這就要求對真空泵進行精心維護,特別是要加強對真空泵的排水工作。
另外一種真空泵就是水環(huán)式真空泵,這種泵最適合層壓機抽真空。因為它不存在潤滑及腐蝕兩個問題,只是這種真空泵使用條件比較高,需要冷卻水且要在5℃-15℃之間,而且水環(huán)泵抽真空需要電機功率也比較大,價格又貴,所以目前選用真空泵從購買成本考慮大多仍選用BUSCH泵。
控制系統(tǒng):層壓機主要要控制壓力、溫度2個參數(shù),有的壓機還控制真空度。壓力、溫度2個參數(shù)變化都是用電腦控制, KITAGAWA壓機除用電腦控制外,還可以用DCP來控制。
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